真空泵旋转泵扩散泵分子泵

用来在一个封闭的容器内制造真空的泵叫做真空泵真空泵.绝对的真空是无法产生的,因此真空度当我们讨论一个时,就读于图片真空泵.任何真空泵都有三个主要特点。
排气压力
真空度
抽速

真空泵的排气压力

任何真空泵都有一个出口和一个入口。作为真空容器的气态物质或空气通过泵的入口进入泵内,通过泵的出口从泵出到大气中。这个过程是由一个阀门机构控制的。排气压力是在泵出口处测量的压力。这个压力可以等于或低于大气压力。不同的真空泵额定排气压力不同。通常,用于产生高真空的泵具有较低的排气压力。对于非常创造非常高的真空,需要非常低的泵排气压力,如10- 4或10-7托。为了产生非常高的真空背泵以及主真空泵。这里,真空泵的真空压力或排气压力首先由背泵维持,然后将主真空泵运行。背泵产生的真空压力称为强制真空或黑色压力。

真空泵的真空度

真空泵所能产生的最小压力称为真空泵真空度的泵。从理论上讲,使任何容器处于绝对真空状态并非不可能,但实际上不可能产生低于10的真空状态-13年托。这是因为,当外部大气压力与容器内部压力之差增大时,电机和泵的其他活动部件的效率就会成比例地降低。

真空泵的抽速

它的定义是在容器内的瞬时压力下,泵吸进容积的空气或气态物质的速率。抽气速度是以每秒钟吸入的空气或气体体积来衡量的。

真空泵类型

有很多真空泵类型可用

  1. 旋转式油真空泵
  2. 分子真空泵
  3. 扩散真空泵

油真空泵和水银真空泵可分为活塞式和旋转式两种。

旋转油泵

Wolfgang Max Paul Gaede德国物理学发明了旋转油泵。该泵是两种类型

  • 旋叶式油泵
  • 静叶式油泵

这两种油泵的原理类似。有一个重圆柱形轴形成转子,转子偏心旋转在空心圆柱体中。该中空圆柱体称为泵的定子。在转子的旋转期间,空气或气体进入定子中被压缩并推向出口。在出口处设有一个非返回阀,其阻挡了耗尽的空气或气体的返回。整个系统浸入油中。当该系统浸没时,泵不需要周期性外部润滑,气体或空气从泵的内部室的泄漏是不可能的,油本身用作泵的冷却剂。

旋叶式油泵


上面的动画图显示了旋转叶片油真空泵.在这里,叶片与转子一起旋转。

静叶式油泵


上面的动画图显示了固定叶油真空泵.这里,叶片不是旋转,而是根据偏心旋转转子的位置上下移动。

扩散真空泵

该泵的工作原理是气体介质的相互扩散。它通过其他气体或蒸汽的相互扩散来剥去容器中的空气或气体介质。这一概念最早由Gaede在1815年提出,后来由Langmuir进一步发展。在扩散过程中,气态物质从高浓度区流向低浓度区。这意味着气体从高压区流向低压区。在这里,油或汞的蒸汽被允许通过一个喷嘴释放,以降低其压力。低压区与容器相连,在容器中通过入口管道产生真空。来自容器的气体分子扩散并随着汞或油蒸气的流动而离开。然后蒸汽被强制冷却系统冷凝,空气或气态物质从泵的出口排出。
扩散泵

分子真空泵

由于气体的粘性特性,与固体移动表面接触的气态物质层沿着表面的运动方向进行运动。在此基础上,开发了分子泵。在这里,空气或气体通过进气管进入定子的极细槽,在那里空气或气体与泵的转子接触。当转子旋转时,转子表面运动得非常快,由于粘度的作用,与转子表面接触的空气或气体层得到运动,进入出口,从泵中被排出。分子真空泵

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